Úvod do aplikace
Automatizované skladování a správa materiálu při výrobě polovodičů
Platí pro :
1.High density storage, vysoké využití prostoru, plné využití výškového prostoru
2. Rychlý rytmus
3.Integrováno do systému řízení materiálu na dílně
4.Rychlá implementace, automatický test úrovně výuky
5. Kompatibilní s ARV/OHT/OHS/manuálními a dalšími automatickými procesy
6. Vyhovuje čistým prostorám ISO14644-14, SEMI S2 Standard a ESD standardům
zavedení funkce
* Používá se pro on-line ukládání polovodičů, podporuje FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray a další
* Může dokovat s ARV, podporovat ruční nakládání a vykládání
*Vyhovuje Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard a ESD standardům
*Standardní SEMI softwarové rozhraní
*Modulární design
Blok 4. č. 358 Jinhu Road, okres Pudong, Šanghaj, Čína